二手 LAM RESEARCH Alliance A6 #9389920 待售

LAM RESEARCH Alliance A6是為高通量處理而設計的單晶片批量蝕刻器/asher。它提供了先進的技術,具有緊湊的占地面積、高性能和卓越的處理可重復性。Alliance A6的特點是具有獨立直流偏置控制的雙級射頻等離子體源,提供出色的蝕刻/灰化選擇性,以及高速率、高各向異性蝕刻/灰分工藝。也可配置為高密度等離子體蝕刻或幹式剝離蝕刻。該室包括一個自動化的、面向中心的氣體分配設備，以提高蝕刻均勻性。與傳統的共線縫系統相比，中心向氣體分配能力∼10x提高了蝕刻均勻性。小巧但功能強大的晶圓級裝卸系統允許簡單的樣品裝卸和放置。LAM LAM RESEARCH Alliance A6能夠處理標準、易碎、厚膜的晶片達6英寸（150毫米）。該裝置的設計可容納更高溫度的工藝（最高450 °C）和高壓工藝配方（最高65 Torr）。機器的控制硬件和軟件具有直觀和用戶友好的界面。它能夠儲存數百種容易召回的食譜。它提供的復雜程度和直觀的功能,不需要復雜的編程。Alliance A6提供了許多高級功能,可確保用戶的工作效率、可重復性和卓越的流程性能。這些特點包括：先進的診斷和監測，氫稀釋控制，均勻的氣體註入，以及底物射頻偏置。LAM RESEARCH Alliance A6是用於沈積高性能薄膜材料的理想蝕刻/灰分工具，包括用於半導體、光學和光電器件的材料。其卓越的功能集使其成為提高生產率和吞吐量的絕佳選擇,同時確保了出色的過程控制和可重復性。