二手 LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX #293627727 待售
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ID: 293627727
晶圓大小: 8"
Etcher, 8"
Chamber
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M Turbo molecular pump
ACT 1300M PM Pump controller
Enhanced gas box
Spooled inlet gas panel
HORIBA / STEC Mass Flow Controller (MFC) Type: Digital
Gas filter: ≥0.003 um
Gas box stacking: 4 PM Stacking
Pump ballast with AOV 85
Chamber manometer: MKS 0.1 Torr
Turbo manometer: MKS 10 Torr
Fore line manometer: MKS 10 Torr
Pressure control valve: Pendulum VAT65
Helium pressure control unit: UPC-1300
ESC 718-094523-281 Bipolar anodize (Notch), 750 V, 24 VDC
Chamber configuration: Elevated top hat
Direct pressure monitoring
He Cooling size (Center): 50 SCCM
(8) Gas lines:
Line / Gas / Size
1 / O2 / 50 SCCM
2 / C2F6 / 100 SCCM
3 / Cl2 / 100 SCCM
4 / HBr / 350 SCCM
5 / He / 500 SCCM
6 / 20% O2/He / 20 SCCM
7 / CF4 / 200 SCCM
8 / SF6 / 200 SCCM
Upper chamber temperature: 60°C
Wall chamber temperature: 60°C
Lower chamber temperature: 65°C
ADVANCED ENERGY RFDS-1250 RF Generator, 1250 W (P/N: 660-024637-026)
RF Generator cooling type: Water
Coil (P/N: 853-330601-001)
Match (P/N: 853-032294-002)
Auto tune PCB (P/N: 810-015987-101)
Upper match enclosure with fan
ADVANCED ENERGY RFG-1250 Halo RF Generator, 1250 W (P/N: 660-024637-028)
RF Generator cooling type: Water
P/N: 853-015130-103 Match
P/N: 810-017003-005 DIP PCB.
LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX是工廠生產的理想asher/蝕刻機。這種緊湊、易於使用的機器主要用於晶圓基板的加工。PTX模型非常適合要求高精度和高精度的材料生長和去除應用。它的自動化功能最大程度地提高了吞吐量,降低了每個應用程序的成本,並簡化了操作。PTX采用等離子體增強蝕刻技術，具有優化的腔室設計和先進的蝕刻參數，提供卓越的質量效果。這種高度先進的蝕刻器具有出色的沈積剖面、均勻的重叠和尖銳的特征定義，導致無缺陷晶片和更大的產量。TCP 9400 PTX具有傾斜旋轉級,允許精確的處理與精確的模式識別對齊。這樣可以處理任何尺寸和厚度的基板,同時保持精確的均勻性。該機還具有卓越的使用壽命,平均總運行時間為97%。該設備采用90納米單晶片工藝，非常適合低功耗和高密度應用。它提供了廣泛的系統選項,可根據客戶的特定需求定制結果。其他功能包括25W高功率射頻源,在整個晶片上提供均勻的電源,自動選擇缺口,以及用於過程控制和監控的安全遠程數據管理單元。PTX專為長期可靠性、精確的陣列和可重復性而設計,以及一臺高性能的機器,以適應苛刻的生產要求。該機還通過彩色觸摸屏和更新的軟件提供了高水平的操作員舒適性和靈活的操作，使設備的操作和維護更加簡單和高效。這臺機器非常適合任何生產環境，並提供最佳的正常運行時間，過程控制和可重復性。
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