二手 LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX #293793431 待售

LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX是一種蝕刻器/asher,可提供高吞吐量和吞吐量一致性。它用於陶瓷和金屬基板的蝕刻和灰化。它通過可編程、可重復的過程和自我監控性能提供高精度的結果。該設備在觸摸屏彩色控制器上運行,可提供高達0.05秒步長的控制分辨率,用於精確的蝕刻和灰化持續時間。此蝕刻/灰化系統提供每小時約400個基板的高吞吐量,並且設計為符合清潔室協議。TCP 9400 PTX asher包含一個風冷、低壓反應物室、工藝氣體模塊以及溫度和真空控制。該裝置還為矽構型提供了三氣蝕刻能力。它配備了過濾機，以保證粒子控制和粒子沈積預防。該工具通過使用先進的反應堆煙囪設計提供了一個高效的過程。這有助於最大限度地減少氣體擴散並促進快速蝕刻時間。該資產還提供精密的蝕刻控制，提高的均勻性，以及從批次到批次的出色重復性。TCP 9400 PTX型號包括多項安全功能,可確保安全的操作環境。設備還提供自我診斷功能,以檢測任何外部篡改。此外,系統還包括低維護設計,以最大程度地減少停機時間。不銹鋼合金材料確保低氣體，低泄漏濃度，並防止汙染的基板。該裝置能夠產生多種基材的高質量成果，能夠滿足各種生產工藝的需要。彈性體密封保證了精度和準確性，而腔室設計提供了結果的重復性和快速的工藝時間。此外,高級過程監視機器可最大程度地減少錯誤並降低蝕刻時間。總體而言,Alliance TCP 9400 PTX是滿足各種生產線和高批量生產需求的理想蝕刻器/粉碎器。該工具的高吞吐量、對蝕刻的精確控制和安全特性使其成為高精度蝕刻和灰化應用的完美解決方案。