二手 LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 #9255329 待售

LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 etcher/asher是一種多功能機器，專門設計用於薄膜的沈積和蝕刻，以及制造半導體器件所需的相關清潔、物理氣相沈積和光刻工藝。這臺機器提供了廣泛的蝕刻功能和幾種應用，如MEMS器件、復合半導體器件和微電子器件。Alliance TCP 9600 蝕刻器/asher配備了一個高容量、14英寸長的真空室，能夠接受尺寸不超過4 「x 4」的基板。這個腔室通過含氯和氧的等離子體加熱，由電子回旋共振（ECR）源產生。等離子體能量則允許對沈積層進行極其精確的蝕刻，如多晶矽、外延、非晶矽等材料。該蝕刻器還包括射頻偏置發生器和霍尼韋爾壓力調節器，允許等離子體功率和壓力的精確組合，以進行高質量的蝕刻。LAM RESEARCH Alliance TCP 9600還提供兩臺原位離子質譜儀，可實時監測蝕刻過程，提供有關蝕刻速率和蝕刻均勻性的重要信息。通過監測蝕刻速率和均勻性,制造商能夠產生更精確的蝕刻結果,減少工藝變化並最終提高產品質量。此外，原位離子質譜儀可以方便地整合額外的蝕刻配方，以便在最小停機時間內蝕刻新材料。Alliance TCP 9600配備了功能強大、用戶友好的Windows"兼容軟件套件,可輕松設置和執行蝕刻食譜。此軟件包括數據分析功能,允許輕松跟蹤使用數據和蝕刻結果,幫助制造商更快、更高效地產生高質量的結果。總而言之,LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 蝕刻器/asher是一款功能強大的機器,可提供高質量的蝕刻、強大的軟件套件以及實時監控,以實現高精度、可靠的蝕刻過程。這臺機器非常適合需要具有高度精確蝕刻和精確監控功能且停機時間最短的蝕刻器/灰化器的制造商。