二手 LAM RESEARCH Alliance #9024992 待售

LAM RESEARCH Alliance是一款先進的蝕刻和灰化工具，為精密蝕刻和灰化解決方案提供高端精度。它旨在幫助在微芯片和其他電子元件的蝕刻和灰化過程中創建更小、更精確和可重復的模式。Alliance是復雜、結構要求苛刻的蝕刻和灰化應用的理想選擇,因為該設備能夠產生低尺寸誤差和+/-3埃的高可重復性精度的小特征。該系統由幾個高端組件組成，確保所需基材的精密蝕刻和灰化。這包括一個高靈敏度的光學裝置，其設計目的是提供具有非常高分辨率成像能力的精確結果，以及一個高精度的圖樣發生器和成像子系統，允許操作和控制單個蝕刻和灰度圖樣。對於蝕刻工藝，LAM RESEARCH Alliance附有一個強大的離子源，能夠定制蝕刻成分並實現受控蝕刻速率。這種強大的離子源由一個高能單元組成，通過一個動態調節的離子能量範圍輸送離子，這種範圍允許用廣泛的材料進行蝕刻。還有一個定制的蝕刻室，能夠產生電場、化學場和熱場，用於沈積薄膜和蝕刻底物。該腔室包括多個附件，用於管理不同的蝕刻參數，實現高可靠性的可重復層。對於灰化過程,該單元配備了一臺強大的控制機器,能夠控制多個配方的速率,並提供自動化的設備編程,以實現更快、更可靠的過程。Alliance還具有溫帶反饋回路工具,該工具在灰化過程中將過程溫度保持在嚴格的公差範圍內。資產還提供了支持美國Gcode和VLSI CAD的軟件接口,並允許直觀的布局和參數模擬及優化,以確保蝕刻和灰化過程中的最高精度。LAM RESEARCH Alliance旨在以精確、可重復性和可靠性滿足行業對精密蝕刻和灰化應用的苛刻要求。該模型用於微電子學、半導體、醫療器械和汽車工業，是精密蝕刻和灰化應用的理想選擇。