二手 LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM #9250676 待售

LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM是一種用於支持一系列先進半導體工藝的蝕刻器/asher。它將高端專有過程控制軟件與獨特的模塊化設計相結合,提供卓越的性能和精度。Alliance6 9400 DFM提供多種蝕刻和沈積化學功能。該設備兼容CVD、PECVD和ALD技術，以及抗蝕劑和蝕刻化學。它能夠加工高達4英寸的基板，並能達到高達950 °C的溫度。該系統使用專有的Multi-Plane Linear FlowTec™交換平臺提供卓越的均勻性、可重復性和快速循環時間,可提供高精度和可重復性。該裝置還具有通用的等離子體源/泵組合，能夠根據用戶的工藝配方對金屬和高k材料進行均勻的等離子體蝕刻。LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM配備了先進的PIC Corporation電源，允許用戶從各種各樣的氣體中進行選擇，從而實現用於薄膜沈積和蝕刻過程的高級反應堆配置。該機器的專有軟件有助於減少制造亞微米特性的可變性,從而確保卓越的設備性能。該軟件允許用戶監視、分析和優化流程性能,以準確控制一致性、吞吐量和產量。Alliance6 9400 DFM非常適合一系列生產要求和遵守環境法規。其化學品管理工具確保安全和減少廢物，並符合SEMI S2要求。該資產還可以滿足高吞吐量、低成本的要求。總體而言,LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM是一款非常先進的蝕刻器/asher,旨在提供卓越的性能和精確度。其獨特的模塊化設計和專有軟件允許用戶優化過程，而其化學管理模型則確保安全和遵守環境法規。