二手 LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM #9412055 待售

LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM是一個生產規模的蝕刻晶片制造模塊，設計用於半導體工業中的大容量、高通量晶片加工。Alliance6 9400 DFM是專門為高級高長寬比晶圓處理而設計的專用蝕刻模塊。該模塊配備了3軸自動晶圓裝卸設備和高精度多區壓板級。該系統的設計使其適用於反應性離子蝕刻（RIE）、感應耦合等離子體（ICP）蝕刻、深反應性離子蝕刻（DRIE）等多種蝕刻應用。LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM采用高精度多區壓板級，實現精確晶片對準，方便批次蝕刻和晶片對晶片對準。該壓板能夠在多區模式下運行，允許在晶片上同時進行多次不同類型的蝕刻。先進的晶圓處理單元具有高速度、精確度和可靠性,進一步提高了Alliance6 9400 DFM的性能和操作靈活性。該機還具有實時過程控制、產量和運行時監控、數據記錄、高級容錯軟件以及在線和離線缺陷檢測等功能。LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM由LAM RESEARCH綜合服務和支持網絡支持,包括遠程服務和預防性維護計劃。該工具利用最高質量的材料和制造技術提供可靠和一致的性能。它旨在優化吞吐量和產量,使客戶能夠最大限度地節省成本和提高競爭力。其先進的工藝能力、靈活的操作模式和可靠的性能使Alliance6 9400 DFM成為滿足各種半導體制造要求的可靠解決方案。