二手 LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX #9250675 待售

LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX是一種蝕刻器/灰化器,為從全晶片蝕刻/灰化過程到後端過程（如光致抗蝕劑剝離和金屬去除）的應用提供工藝解決方案。Alliance6 9400 PTX是一款多功能的高級蝕刻器/aser,具有單一的工藝室,可提供高吞吐量、低成本、流程設計靈活性和廣泛的流程功能。LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX利用並聯電極驅動的電感耦合等離子體（ICP）源。它旨在提供高效的等離子體控制，並提供更高的可靠性和可重復性。它提供了具有精確端點檢測功能的均勻、幹凈的蝕刻/灰燼工藝。蝕刻器/asher由一個單一的處理室和一個易於使用的觸摸屏控制器組成。它旨在提供更好的過程控制和改進的停機時間,以及增強的可重復性和統一性。Alliance6 9400 PTX是一種可靠、穩定的蝕刻器/asher,可滿足嚴格的全球安全和環境要求,安全用於生產系統。它配備了專利雙頻射頻過程監控系統和極其先進的晶圓處理系統，使多晶圓處理成為可能。它包括基板溫度、工藝氣體組成、壓力、功率和電流等多種工藝參數.所有這些參數都可以精確調整以獲得廣泛蝕刻/灰化過程的最佳結果。蝕刻器/asher利用了最先進的軟件包，使過程參數易於操作和優化。總體而言,LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX是一款用途廣泛、先進且可靠的蝕刻器/蝕刻器,專為高通量和低成本工藝而設計。它提供精確的過程控制和改進的停機時間以及增強的可重復性和統一性。此外，它滿足嚴格的全球安全和環境要求，使其對生產系統安全。