二手 LAM RESEARCH Autoetch 480 #293652620 待售

LAM RESEARCH Autoetch 480是一款為晶圓加工而設計的蝕刻器/asher。它為各種應用程序提供了高吞吐量、穩健的蝕刻和灰度處理。Autoetch 480采用多室技術，將蝕刻和灰化結合在一個工具中。功能包括每個腔室獨立的質量流量控制器、用於蝕刻/灰分選擇性的數字壓力控制,以及用於提高生產率的整體負載/卸載自動化。LAM RESEARCH Autoetch 480設計了模塊化腔室，以最大限度地提高工藝靈活性。這使客戶能夠根據一組特定的要求定制其蝕刻或灰化過程。蝕刻能力包括：等離子體蝕刻、濕蝕刻和濕/幹蝕刻組合工藝。灰化能力包括：氧等離子體、遠程等離子體、濕蝕刻和濕/幹蝕刻組合工藝。所有工藝最多可有三個會議廳。自動蝕刻480還具有先進的過程控制技術,可確保最佳的過程可重復性和產量。它提供了易於使用的配方編程系統,可簡化控制並最大程度地減少停機時間。該工具維護一個全面的流程審核跟蹤,從操作員到所使用的流程都具有清晰的可追蹤性。LAM RESEARCH Autoetch 480附有多種選項和升級，以增加通用性。這包括快速熱處理、廣泛的腔室、集成的粒子控制和配方編程接口。Autoetch還提供集成就緒的軟件模塊,包括實時計量、在線監控和流程數據報告。Autoetch 480是一種高級蝕刻器/asher,可幫助用戶最大化產量和過程可重復性。它的模塊化設計提供了靈活性,並允許根據特定需求定制工具。它的控制技術確保了最優的過程可重復性和產量，其集成的軟件模塊提供實時監控。LAM RESEARCH Autoetch 480是希望升級蝕刻工藝的客戶的理想解決方案。