二手 LAM RESEARCH Autoetch 490 #175570 待售

ID: 175570
晶圓大小: 6"
Etcher, 6".
LAM RESEARCH Autoetch 490是一種自動蝕刻機,設計用於濕法和幹法化學蝕刻工藝。該機經過專門設計,可在多種材料和基材上進行精密蝕刻和灰化。它具有順序的全自動操作,利用高頻交流電使材料或基板中的顆粒移動並暴露於聚焦的化學物質中。該機配備了多種功能,旨在提高其性能和精度。這些特點包括用於精確控制氣體流動的精密氣體閥,以及一個緊湊、封閉的真空系統,以確保蝕刻過程在受控環境中進行。此外,Autoetch 490還具有計算機控制的微處理器驅動系統,使機器能夠準確、精確地控制過程參數。蝕刻過程是通過使用計算機驅動的控件啟動該過程而啟動的,在該過程中,蝕刻和灰化參數被設置為達到所需的屬性。一旦過程啟動,交替的高頻電壓被施加到材料或基板上,使材料內的離子振動,從而導致蝕刻發生。在蝕刻過程中,蝕刻氣體被引入腔室。這些氣體隨後被點燃,導致材料暴露在化學物質中,並允許蝕刻發生。蝕刻過程完成後,將對蝕刻產品進行分析以檢查產品質量。LAM RESEARCH Autoetch 490配備了熒光屏,可以實時看到蝕刻產品,讓用戶看到蝕刻過程的進展情況以及蝕刻材料的外觀。蝕刻過程完成後,可以清洗或處理蝕刻產品。總體而言,Autoetch 490是一個高效可靠的蝕刻和灰化系統,旨在提供高度準確和一致的蝕刻產品質量。該機配備了多種特性,使其能夠以高度的精確度和精確度執行幹濕蝕刻工藝。機器還配備了適當的設備來分析蝕刻產品,以確保它符合為蝕刻過程設定的質量標準。
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