二手 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293652631 待售

LAM RESEARCH Autoetch 490是一種蝕刻和灰化設備，對化學過程和溫度提供高精度、可編程的控制。該系統能夠承擔各種不同溫度和蝕刻要求的蝕刻和灰化任務。Autoetch 490利用獨立、自動、計算機化的溫度和邏輯控制系統,允許復雜的蝕刻和灰化方案,具有完全的靈活性。LAM RESEARCH Autoetch 490是一個高級工具單元，具有直觀的圖形用戶界面和先進的過程控制。它具有內置的12英寸彩色顯示屏，讓用戶清晰地看到蝕刻和ashing操作，以及快速輕松地查看和調整配方參數。它還自動校準每個腔室的溫度，並在整個過程中保持溫度的一致性，從而使蝕刻部件的質量一致。該機器還具有計時器序列功能,能夠精確、一致地控制蝕刻時間。此計時器還可與內置限位控制器配合使用,以確保對精細基板和組件的保護。Autoetch 490由內部壓縮空氣供應提供動力，驅動兩個獨立的真空泵進行精密蝕刻、灰化和清潔操作。它利用電子束和紫外線暴露技術來促進模具到模具、網狀和卷軸到卷軸的過程。該工具還具有若幹清潔能力，以提高工藝可靠性和質量保證。這些清潔功能包括濕式清潔工藝和反應性氣體清潔工藝，有助於減少循環時間，使LAM RESEARCH Autoetch 490成為實現高純度蝕刻和灰化結果的有效工具。高精度噴嘴調節功能還確保了處理大基板時的一致性，這對於可重復的產品質量至關重要。簡而言之,Autoetch 490是一種強大的蝕刻和灰化資產,可提供卓越的質量效果。LAM RESEARCH Autoetch 490以其人性化的圖形界面、先進的過程控制、獨立的溫度控制、集成的計時器和極限控制器、高效的清潔能力以及精確的噴嘴調節，是任何蝕刻和灰化應用的理想工具。