二手 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293697198 待售

LAM RESEARCH Autoetch 490是一款蝕刻器/asher，設計用於快速精確蝕刻微電子材料，高達12英寸晶圓。它是用於制造集成電路的各種蝕刻操作的理想選擇,包括：高方面蝕刻、硬掩模蝕刻、低至0.25微米的特征尺寸、淺蝕刻和深蝕刻。Autoetch 490具有高真空蝕刻室、緩沖氣體輸送設備和精確的機器人基板定位系統。該單元提供了具有毫秒響應的精密蝕刻控制,以實現小型特征和超淺結構的高吞吐量。LAM RESEARCH Autoetch 490采用高精度機器人定位機，在大型晶片上精確匹配蝕刻速率。其真空工具能夠達到milliTorr範圍內的高處理壓力。Autoetch 490結合了電源連桿,以300 nm的拍攝尺寸提供高度精確的操作。它配備了離子轟擊資產，通過交聯聚合物最大程度地提高蝕刻速率，並確保整個基板表面蝕刻深度的均勻性。它還具有氣體優化模型，以實現蝕刻指令，如高長寬比，而不會損壞基板表面。設備對蝕刻速率變化也高度敏感，並配備原位粒子檢測技術，對原位離子、氣體和顆粒進行監測。LAM RESEARCH Autoetch 490提供了多種可納入其系統以改進控制的工藝模塊,例如用於蝕刻輪廓調整的溫度室和用於快速調整蝕刻速率的參數室。它還配備了專利的電荷中和裝置，以有效控制蝕刻參數，提高需要高長寬比的蝕刻應用的性能。Autoetch 490是微電子和半導體加工的理想工具，包括金屬和金屬氧化物層的淺蝕刻和深蝕刻。該機器既滿足工業需要，也滿足研究需要，以較短的周期時間提供準確和可重復的蝕刻結果。它是一種可靠、可靠且經濟高效的蝕刻解決方案,旨在最大程度地降低總成本。