二手 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293728169 待售

LAM RESEARCH Autoetch 490是為高精度制造半導體器件而設計的先進蝕刻和灰化設備。它利用了多種蝕刻和灰化技術，包括集成等離子體蝕刻、感應耦合等離子體蝕刻和反應性離子蝕刻工藝。Autoetch 490系統配置了一個完全封閉的腔室,它提供了一個幹凈的過程環境,並允許設備遵守嚴格的過程可重復性和配方控制要求。精確控制等離子體能量以確保蝕刻過程具有高度可重復性。LAM RESEARCH Autoetch 490可以精確蝕刻復雜的結構，並創建具有高長寬比的獨特幾何形狀。Autoetch 490包括一臺出廠安裝的機器人晶片處理機，可實現自動晶片處理和加載端口操作。機器人處理工具具有較高的吞吐量和較短的周期時間，並具有可動態重新配置的多晶圓大小的輸送機資產。LAM RESEARCH Autoetch 490還采用晶圓溫度控制模型,以確保最佳蝕刻性能.該設備可配備範圍廣泛的蝕刻配方，包括高長寬比溝槽、復雜的通孔和更深的輪廓。Autoetch 490還支持快速輕松的配方修改、配方參數調整和過程監控。該系統還具有集成的高分辨率視頻過程監視器,用於實時過程監控。LAM RESEARCH Autoetch 490還提供全面的診斷、報警和配方管理軟件來維護過程控制。遠程診斷和監視軟件支持遠程流程性能監視和控制。Autoetch 490還為用戶提供了各種流程自動化選項,包括板載配方管理、非接觸式火花檢測單元、自動設置文件和自動運行功能。總體而言,LAM RESEARCH Autoetch 490是一款先進的蝕刻和灰化機,提供高精度、可重復的蝕刻工藝。該工具包括機器人晶圓處理器資產和各種工藝控制選項，是制造半導體器件的理想選擇。