二手 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293811780 待售

LAM RESEARCH Autoetch 490是一款為高邊際基板的高通量加工而設計的蝕刻器/asher。此蝕刻器/asher經過高度設計,可實現優化的性能和高生產率。Autoetch 490具有高壓、高容量的工藝室和廣泛的蝕刻化學解決方案。利用先進的工藝控制算法，實現了該室的氣體利用率最大化，同時實現了均勻的蝕刻效果和優越的工藝精度。LAM RESEARCH Autoetch 490專為高產低成本操作而設計,可同時處理多個晶片,同時具有一致的蝕刻臨界特征尺寸要求和工藝時間。Autoetch 490還具有多種工藝選項,如主動壓板溫度控制、多氣體入口和主動冷卻系統。憑借強大的工藝控制能力，LAM RESEARCH Autoetch 490可以實時修改參數，以最大限度地提高蝕刻產量和輪廓精度。自動蝕刻490非常適合等離子體蝕刻、濕蝕刻、灰化、門氧化物蝕刻和側壁輪廓蝕刻。它具有50-100%的高收益率，可以與RF和Open Tower架構同時結合。LAM RESEARCH Autoetch 490標配基於Windows的32位軟件平臺，使其能夠輕松集成到現有的生產環境中。Autoetch 490還具有最大限度減少汙染的安全功能,以及用於缺陷檢查和過程控制的高級軟件解決方案。該系統易於操作,配有全彩液晶顯示屏,用於監視狀態和操作。遠程訪問功能為用戶提供遠程診斷,以確保系統最佳運行。總體而言，LAM RESEARCH Autoetch 490是一種用途廣泛的高通量蝕刻器/asher，可用於精確蝕刻高邊際基板。此蝕刻器/asher具有強大的過程控制功能、先進的安全功能和易於操作,是一系列蝕刻應用程序的理想解決方案。