二手 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293815927 待售

LAM RESEARCH Autoetch 490是一款先進的蝕刻和灰化設備，旨在滿足各種半導體器件應用的需求。該系統設計為在一個方便的平臺上提供蝕刻、剝離、剝離和去除光刻膠以及晶圓表面調節。自動蝕刻490能夠處理平坦和不規則形狀的基板。其獨特的設計允許多種蝕刻配方，允許靈活性和廣泛的功能。LAM RESEARCH Autoetch 490由多個子系統組成，提供處理各種基板所需的靈活性。這些系統包括：負載/卸載單元、氣體控制機、氣體輸送工具、基板支架和蝕刻室。載荷/卸載資產用於將基板移入和移出蝕刻室。氣控模型用於調節蝕刻氣體的流動。氣體輸送設備負責將蝕刻氣體輸送到蝕刻室。基板支架在加工過程中將基板固定在蝕刻室中，而蝕刻室本身的設計則是為了確保基板的均勻蝕刻。Autoetch 490配備了真空互鎖系統和緊急關閉開關等先進的安全功能。它還包括一個自動配方控制單元，為操作員提供存儲常用配方和更高效管理機器的選項。此外,它還具有一個21英寸的大型彩色顯示屏,可讓操作員監控蝕刻過程並根據需要進行調整。LAM RESEARCH Autoetch 490能夠以高達400毫米/分鐘的速度蝕刻晶片，每批基材最多有8種蝕刻配方。這使得它適合廣泛的生產需求。它還與多種蝕刻氣體兼容，使其適用於反應性離子蝕刻、深反應性離子蝕刻等復雜過程。Autoetch 490是一種先進的高端蝕刻和灰化工具,旨在滿足各種半導體器件應用的需求。它具有快速可靠的晶圓蝕刻能力，設計時考慮到操作員的安全性和易用性。資產的高級特性和功能使其成為復雜蝕刻和灰化過程的理想選擇,並且是對任何生產設施的寶貴補充。