二手 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293821360 待售

LAM RESEARCH Autoetch 490是一種全自動氣體蝕刻和灰化器。它設計用於半導體制造工藝，可用於化學蝕刻各種材料，包括金屬、矽化物、氧化物和氮化物。它具有多種特性和優勢，使其成為許多半導體生產過程中的寶貴資源。Autoetch 490是一種可編程蝕刻設備，包括兩個獨立的單臂、全充氣、非接觸/機械旋轉分流的蝕刻連續材料。它也有五條單獨的氣線,用於可控材料蝕刻配方.該蝕刻器有一個工廠安裝的凈化系統，用於完全疏散所有氣體管線，提供高度的安全和過程控制。LAM RESEARCH Autoetch 490具有一個氮氣氣泡，用於去除蝕刻室中的遊離基氣體。氮氣泡器還包括一個串聯過濾單元和濕洗技術，以去除蝕刻材料中的所有顆粒物。濕洗技術還有助於提供清潔、無塵的工作環境。Autoetch 490設計用於處理各種灰度和蝕刻操作。該機最多可容納14種不同的氣體序列配方，為最終用戶提供各種蝕刻各類材料的選項。還有一個自動啟動功能,它將根據給定的時間周期啟動蝕刻周期,從而允許最終用戶設置所需的蝕刻配方時間。LAM RESEARCH Autoetch 490是一款小巧而堅固的工具,占地面積小,易於與現有設備集成。這使得它成為狹窄、空間受限的生產區域的理想解決方案。總之，Autoetch 490是一種極具威力和柔韌性的氣體蝕刻劑和asher。它具有獨特的特性和優勢,非常適合半導體制造過程。它是完全自動化的,易於操作,並且需要最少的維護。