二手 LAM RESEARCH Autoetch 490 #9265329 待售

LAM RESEARCH Autoetch 490是一款為等離子體蝕刻、灰化和幹式剝離應用而設計的蝕刻/灰化設備。該系統利用先進的等離子體蝕刻技術，除了先進的功率傳遞，為最大的工藝性能。Autoetch 490提供高吞吐量、高選擇性和可重復的過程性能。該裝置采用專有的控制機器硬件和軟件設計和制造，確保可靠性和魯棒性。該工具包括平面反應性離子蝕刻器（RIE）和線性反應性離子蝕刻器（LRIE）。RIE既可用於通孔蝕刻，也可用於反應性離子蝕刻（RIE）。RIE具有在晶圓和蝕刻/蝕刻後表面之間移動的旋轉臂。這樣可以確保蝕刻的均勻性和重復性。LRIE用於幹剝離、灰化和清潔樣品。LRIE配備真空卡盤，提供自動驅動和可重復的運動。由於其單面清潔室的概念，LRIE通常用於同時粉刷大量樣品。LAM RESEARCH Autoetch 490還具有多種先進的電源傳遞機制,能夠對過程和基板的功率波形進行成形。這允許在蝕刻和灰化過程中控制等離子體，將蝕刻和灰化時間減少到最小。該資產還具有多種其他特點，如自動工藝重復性、高溫蝕刻和自動跟蹤晶圓溫度。Autoetch 490是一種可靠、健壯且高效的蝕刻器/asher模型,非常適合尋求卓越工藝性能、可重復性和高吞吐量的實驗室。該設備具有高度可配置性,可以輕松設置和調整以滿足實驗室特定的要求,從而提供無與倫比的蝕刻和灰化性能。