二手 LAM RESEARCH Autoetch 490B #9245067 待售
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ID: 9245067
Automatic Plasma Etcher
Includes:
ENI OEM-6M-01 / OEM-6 XL RF Generator
M&W SYSTEMS RPCX17A-D-DI2x10-LI-CMII-HE Flowrite recirculating cooling chiller system
LAM RESEARCH 853-006117-001 Assy RF Match bulkhead
LAM RESEARCH 853-001142-001 Automatch controller
LAM RESEARCH 853-006233-001 Assy
LAM RESEARCH 853-001983-005 End point detector assy
TYLAN General AC-2 AdapTorr vacuum controller
NOR-CAL PRODUCTS 796-008091-001 Pneumatic valve
TYLAN General MDVX-015S08 Vacuum throttle valve
TYLAN General CMLB-11S01 Pressure transducer, 10 Torr
UNIT INSTRUMENTS UFC-1000 Mass flow controller, MFC, CF4, 100 SCCM
UNIT INSTRUMENTS UFC-1200 Mass flow controller, MFC, CHF3, 50 SCCM
UNIT INSTRUMENTS UFC-1200A Mass flow controller, MFC, CL2, 200 SCCM
UNIT INSTRUMENTS UFC-1200A Mass flow controller, MFC, He, 200 SCCM
UNIT INSTRUMENTS UFC-1200A Mass flow controller, MFC, SF6, 200 SCCM.
LAM RESEARCH Autoetch 490B是一種先進的蝕刻/asher設備,專為各種蝕刻和灰化工藝而設計。它配備了一系列獨特的功能,以確保每次都達到最佳效果。該系統由一臺主機、一個集成緩沖氣體單元、一個高級工藝控制（APC）單元、一臺高分辨率光學機器和一個垂直腔室組成。大型機是為高效運行而設計的，具有各種氣體系統，為蝕刻和沖洗工藝提供了最佳條件。它配備了用於精確熱控制的先進溫度調節器和用於高性能操作的高壓泵。集成的緩沖氣體單元確保了蝕刻和灰化氣體的精確混合，從而實現了均勻的蝕刻和灰化。Advanced Process Control （APC）工具提供了許多功能,以確保最佳的過程控制。這包括端點檢測、自動基板表示、可調配方參數和自動基板加載。此外,APC還可以通過數據記錄對過程條件和自動調整進行實時監控。自動蝕刻490B資產還具有高分辨率的光學模型，用於精確的陣列。該設備配備了最佳能見度的頂級照明光源，具有明亮光源和用於清晰成像的高分辨率光學器件。它還具有用於擴展陣列功能的內置寬視野。最後,LAM RESEARCH Autoetch 490B設計了一個垂直腔穩定運行.該腔室的設計效率最高，配電系統均勻，確保加熱和冷卻均勻。此外，腔室有一個可調節的溫度控制單元，以保持工藝條件在嚴格的參數內。總體而言,Autoetch 490B是一款高級蝕刻和灰化機,具有一系列獨特的功能,可確保每次都獲得最佳效果。LAM RESEARCH Autoetch 490B具有高分辨率光學器件、集成緩沖氣體單元、可調配方參數、自動基板加載和端點檢測等優點,是一種可靠的高性能蝕刻和灰化工藝工具。
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