二手 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293745368 待售

LAM RESEARCH Autoetch 590是一款蝕刻器和asher，旨在提供最高水平的靈活性，以適應廣泛的半導體工藝。它是一種全自動設備，可以從200毫米晶片加工到300毫米晶片，速度高達每小時30個晶片。它提供了廣泛的工藝參數，可以精確控制工藝條件。Autoetch 590設有雙反應室，保證良好的均勻性，提高工藝效率。它能夠進行幹蝕刻工藝，如RIE、ICP、等離子體氧化物蝕刻、蝕刻鈍化和沈積後清理。它還能夠進行濕蝕刻工藝，如水性蝕刻、光致抗蝕劑去除、酸性蝕刻、堿性蝕刻和溶液蝕刻。LAM RESEARCH Autoetch 590集成了一個靈活的氣體輸送系統，該系統能夠根據正在進行的工藝類型提供單一工藝氣體和混合氣體。Autoetch 590設計有一個粒子管理單元，有助於減少顆粒汙染並延長工具的使用壽命。與機器集成的自動晶圓處理最多可處理三個卡帶插槽，允許顯著提高吞吐量，最大限度地減少停機時間。LAM RESEARCH Autoetch 590還設有先進的軟件和監控機器，旨在提供完整的過程控制。它包括流程監控和數據記錄,提供有關工具性能的基本信息。此外,Autoetch 590還具有內置的診斷和控制功能,可將其集成到更大的工具中。對於半導體制造商而言,LAM RESEARCH Autoetch 590是一個經濟高效的解決方案,因為它具有高度的工藝靈活性和高級功能。它是為高通量和可靠性而設計和制造的，是半導體蝕刻和灰化的理想工具。