二手 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293754142 待售

LAM 590是由LAM Research Corporation開發的最先進的高性能蝕刻器/asher。它是一種基於反應性離子蝕刻（RIE）和等離子體灰化（PA）技術的全自動、可編程的批量蝕刻設備。它能夠進行廣泛的蝕刻過程,並提供卓越的性能、準確性和生產率。590設計用於處理幾乎所有蝕刻或灰燼工藝要求。它提供了對壓力、射頻功率、流量和浸沒等蝕刻或灰燼參數的精確控制。該系統支持直徑可達40英寸的大型加工室，以適應各種晶圓尺寸。該單元的卡帶到卡帶處理能力使其能夠分批運行，減少了整體處理時間和成本。蝕刻器/asher配備了多種選項,以確保精確的過程控制和準確性。其中包括一個手動負載鎖定和卸載站、一個自動高度檢測機、數字溫度控制系統和一個射頻發電機控制模塊。這些特性可以精確控制蝕刻或灰分工藝，確保每次都能可靠地、準確地處理晶片。該工具堅固的電氣和機械部件使其能夠承受高電壓和高強度的化學性能,從而確保即使在要求苛刻的應用中也能延長使用壽命。它配有用於精確氣體控制的高分辨率氣體面板和用於自動溫度監測的光學高溫計。資產的自動機械處理確保了高效的裝卸過程。LAM 590已通過UL-、CSA-和CE認證,因此在大多數危險地點都可以安全使用。它提供出色的工藝控制和精度，使其成為蝕刻和灰化應用的理想選擇。該模型也易於使用，成本效益高。憑借出色的性能和精確度，它是任何蝕刻或灰燼工藝的理想選擇。