二手 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293761050 待售

LAM Autoetch 590 etcher/asher是一種先進的高性能蝕刻和氣相沈積系統，非常適合微電子和其他相關基板。它為金屬、聚合物、氧化物和其他材料快速高速沈積到各種基材上提供了精確、可控的工藝。Autoetch 590提供了廣泛的工藝選項,包括各種基於SF6和O2的等離子體蝕刻工藝,這些工藝具有組合條件以優化工藝性能。它還提供了許多先進的溫度控制蒸發劑，如GaAs、Silicon、Gold、Silver等。這兩種工具的結合提供了一個理想的解決方案，以實現精確的材料沈積和蝕刻，同時管理最具挑戰性的基板加工特點。LAM Autoetch 590采用堅固的材料制造,可提供最大耐用性。該工藝室由304不銹鋼制成，在加工過程中設計為溫度和壓力穩定一致。其粉末塗層鋼外墻提供最大限度的保護，從外部元素。Autoetch 590還配備了自動基板加載、獨立氣流控制、非接觸式存在感測、RF生成的等離子體源以及每個反應堆的多次時間和溫度配方。這使得操作人員可以簡單地以最小的麻煩來管理蝕刻和沈積過程。LAM Autoetch 590還利用先進的適配器系統為微電子和其他相關應用提供了特定的解決方案。這樣可以提高靈活性,為各種基材、形狀和特征創建專門的解決方案。最後,Autoetch 590采用了高度敏感的診斷程序包,用於監控蝕刻和沈積過程的各個方面。這有助於確保高質量的結果，同時防止意外損壞細膩的基材。總而言之，LAM Autoetch 590非常適合在微電子和其他相關基板上實現高性能沈積和蝕刻工藝。它的高級功能使其成為各種應用程序的寶貴資產,使用戶能夠獲得可靠的結果並減少流程停機時間。