二手 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293807554 待售

LAM RESEARCH Autoetch 590是為現代半導體制造工作流程而設計的高度精密的蝕刻器/asher。該設備采用先進技術，在一臺方便的機器上提供精密蝕刻和灰化工藝。Autoetch 590通過提供最高水平的蝕刻和灰化速度和精度,提高了生產吞吐量和產量,以滿足當今大容量半導體制造需求。LAM RESEARCH Autoetch 590旨在以環保的方式工作，使用FOUP Containers在沒有人直接接觸的情況下安全運輸晶片。這消除了直接處理危險化學品的需要，保護人員和重要產品免受損害。用戶還可以指定一個靈活的程序，專門針對特定蝕刻晶片定制作業要求，以獲得最佳性能。該系統易於配置,可添加特定於客戶需求的流程功能。Autoetch 590采用高分辨率、1 µm步進準直激光器和可選的轉換透鏡，使多個配方得以處理。通過控制激光功率和脈沖時間，用戶可以精確蝕刻晶片中的大小特征，以驚人的速度制造出困難的圖樣。激光還提供了無串擾蝕刻的優點,可最大程度地減少與掩模相關的陣列錯誤。此外，LAM RESEARCH Autoetch 590具有廣泛的先進和可定制的工藝參數，如基板失準控制、溫度控制、功率水平設置、狹縫寬度和霧化化學濃度設置。這允許用戶精確設置最困難作業所需的參數。該單元還具有先進的計量和檢查能力，以確保在過程中的任何步驟的蝕刻精度。自動蝕刻590使用K系列化學輸送噴嘴精確、快速地控制蝕刻速率。這臺機器具有卓越的控制和可靠性，以確保每個加工基材的蝕刻速率的最高精度和一致性。該工具包括一個用於監測蝕刻工藝參數的校準單元，以確保精確控制和極其均勻的蝕刻。資產連接到一個處理站,該處理站可以提供一個安全的環境來控制蝕刻和灰化的所有方面。這使得自動晶圓映射能夠確保晶圓在蝕刻和灰化操作方面的最佳對齊。此外,該模型還提供了高度集成,便於與各種外部處理平臺進行通信。LAM RESEARCH Autoetch 590提供簡單易用的設計工具、設置時間和編程語言來配置設備,以滿足最復雜的生產需求。最後,Autoetch 590是現代半導體制造公司的理想工具.其先進的技術和集成的功能允許高水平的蝕刻和灰度精度、速度和可重復性。該系統提供特定於客戶的流程,以滿足極其嚴格的生產要求,同時保持安全和環保的工作流程。