二手 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293811811 待售

LAM RESEARCH Autoetch 590是一款針對多種應用而設計的蝕刻器和asher。它能夠加工從金屬到陶瓷和聚合物的材料。Autoetch 590有一個工藝室，適合處理尺寸不超過7.5 「x 7.5」（190 x 190 mm）的基板，可以加工長達175 mm的晶片。該設備可實現高精度和可重復的結果，同時提供過程的多功能性。LAM RESEARCH Autoetch 590利用了廣泛的蝕刻工藝，包括幹蝕刻、濕蝕刻、等離子體蝕刻、灰蝕刻和浸蝕蝕刻。利用Autoetch 590可以精細控制蝕刻時間和功率參數，允許統一的過程控制。LAM RESEARCH Autoetch 590具有完全集成的自動加載系統,允許可重復的過程對齊和過程結果。自動蝕刻590操作參數、公差和配方易於設置和編程,以確保最佳的單元性能。LAM RESEARCH Autoetch 590包含實時狀態顯示,允許對過程進行故障排除或優化,而無需中斷過程。自動蝕刻590還包括可用於各種基板的射頻發電機和電源。射頻特性有助於在蝕刻過程中最大程度地減少工藝區域的汙染。LAM RESEARCH Autoetch 590包括一個高級工藝監視器,可以跟蹤蝕刻過程的結果並驗證是否滿足了所需的參數。Autoetch 590還提供遠程控制功能,允許從遠程位置操作計算機。LAM RESEARCH Autoetch 590與多種操作系統兼容，包括Windows、Mac和Linux。該工具經過認證以滿足各種安全和環境要求,包括SEMI E34、IEC 60601-1-1和UL 698A。總體而言,Autoetch 590是業界領先的蝕刻器和asher,能夠提供高精度蝕刻結果,同時提供工藝多功能性。其先進的操作資產和集成的自動加載模型使其成為各種應用的理想選擇。