二手 LAM RESEARCH Autoetch 590 #9201785 待售

LAM RESEARCH Autoetch 590是一款最先進的等離子體粉碎器和蝕刻器。其新穎的熱處理技術在廣泛的工藝應用中提供一貫的高質量蝕刻和等離子體處理。Autoetch 590具有集成的蝕刻/等離子體系統,為蝕刻和等離子體操作提供了更大的吞吐量和更小的占用空間。LAM RESEARCH Autoetch 590能夠在整個基板區域內處理高分辨率蝕刻和均勻等離子體處理的平板顯示器和大型基板。它具有最大12英寸（30厘米）的加工室尺寸和最大10.4英寸（26厘米）的基板尺寸,為大面積區域提供了最大的靈活性。該裝置還提供了與各種標準工業蝕刻和等離子體化學和溶劑的兼容性。Autoetch 590配備了集成控制系統，能夠對所有蝕刻和等離子體過程進行精確控制和監控。控制器包括完整的流程參數設置,以確保最大程度地優化流程。它還具有多種自動安全功能,可確保使用和操作的安全性和可靠性。LAM RESEARCH Autoetch 590設計方便維護,所有組件均可從設備頂部進入。無需工具即可完成標準維護任務,例如過濾器更改。該裝置設有可調氣流閥和顆粒計數器，使用戶能夠優化氣流以獲得精確的結果。Autoetch 590配備了自動化監控系統，實時跟蹤和記錄流程參數。這使操作員能夠更好地評估流程的狀態並在需要時進行調整。通過一系列內置功能,LAM RESEARCH Autoetch 590可以從任何具有互聯網連接的PC進行遠程控制。總體而言,Autoetch 590提供高效、可靠且用途廣泛的等離子體灰燼和蝕刻器,可用於各種顯示器和太陽能應用。LAM RESEARCH Autoetch 590具有卓越的控制、精密的工藝優化和易於維護,是高質量蝕刻和等離子體操作的理想工具。