二手 LAM RESEARCH Autoetch 590 #9300196 待售

LAM RESEARCH Autoetch 590是一種先進的等離子體蝕刻器,用於半導體制造.它是一種多階段的灰蝕刻設備，能夠同時對大小零件進行蝕刻和灰蝕，同時具有均勻性和等離子體密度。Autoetch 590旨在在時間和成本上創造最優質的最終產品。LAM RESEARCH Autoetch 590采用全自動開放式框架設計,可最大限度地訪問系統,並采用兩階段操作進行蝕刻和灰燼零件。第一階段提供快速和精確的蝕刻時間，而第二階段則利用改良的灰化技術，為更均勻的等離子體密度產生不斷釋放的自由基。此過程提供了出色的蝕刻結果,而不會損壞或腐蝕零件。Autoetch 590還提供了對蝕刻和灰化過程的高級控制,提供了對射頻功率和蝕刻循環時間的精確控制。其自動自調特性結合了一系列測試，調整等離子體生成以獲得最佳蝕刻性能，從而實現了最佳蝕刻和灰化結果。還可以對高級設備進行修改,以適應蝕刻和灰化的特定要求。它還能夠容納多個直流電源,同時提供蝕刻和灰分多個組件的能力。LAM RESEARCH Autoetch 590為各種蝕刻和灰化應用程序提供可靠、可重復且持久的性能。此外,計算機還提供了可選的高級流程監控功能,允許用戶跟蹤刀具的性能,並提供緊急關閉功能以提高安全性。Autoetch 590具有先進的特性和特點,是蝕刻和粉刷各種元件的絕佳工具。