二手 LAM RESEARCH Autoetch 790 #9300198 待售

LAM RESEARCH Autoetch 790是專門為滿足半導體、MEMS和光電行業的要求而設計的高性能蝕刻器/asher。它具有高度可配置的體系結構,允許用戶根據個人需要對其進行定制。Autoetch 790旨在提供精確的蝕刻控制和較低的運營成本,同時強調安全性和可靠性。該設備采用先進的大面積基板輸送系統，提供均勻的晶片處理，可處理多達8英寸的晶片。大面積基板輸送單元還允許多芝加哥晶片加載和晶片分組。該機器采用全自動基板預處理工藝設計，確保基板清潔，並在整個晶片上提供均勻的蝕刻濃度。LAM RESEARCH Autoetch 790還具有先進的數字溫度控制模塊，可以精確控制蝕刻材料的溫度。這確保了基材的均勻加工，同時最大限度地減少蝕刻消耗。它還具有直觀的圖形用戶界面,可幫助用戶快速輕松地選擇配方參數、監控流程條件以及檢測潛在的流程缺陷。自動蝕刻790配備了高效的工藝排氣工具，通過去除蝕刻殘留物和有害材料，確保對環境的影響最小。它還具有先進的密封資產，可以保存模型中包含的顆粒、煙霧和加工化學品。這樣可以確保設備不會汙染設施或危及人員。該系統設計具有故障監控、靜態和動態壓力控制、運行結束傳感器和緊急關閉等多種安全功能。此外,它的設計符合所有適用的安全標準,並經認證可在D類危險材料環境的1類1類中使用。LAM RESEARCH Autoetch 790是一款健壯、可靠、用戶友好的蝕刻器/asher，旨在滿足半導體、MEMS和光電行業的要求。它提供精確的蝕刻控制、較低的運營成本以及較高的安全性和可靠性。