二手 LAM RESEARCH Chamber for 2300 Exelan Flex FX #9240243 待售
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LAM RESEARCH Chamber for 2300 Exelan Flex FX是一款為半導體制造業設計的先進等離子體蝕刻器和asher。它為各種設備應用提供精確可靠的各種材料蝕刻和灰化。自動化計算機控制設備處理流程設置、協調、配方開發和數據收集,以優化生產結果。該腔室采用全自動的Exelan Flex FX工藝，為蝕刻和灰化提供了廣泛的可選條件，允許以最小的人工幹預來實現卓越的工藝控制。該系統操作於各種腔室尺寸，寬度從2英尺到8英尺，並設有TiN/TiCN（氮化鈦/碳氮化鈦）鍍層腔室，以確保卓越的蝕刻選擇性和工藝穩定性。該單元還配備了通用的封閉式翻蓋幾何形狀，減少了顆粒汙染的風險，同時提供了改進的工藝準入和隔熱。該室還提供先進的過程監測和控制。安裝了多通道石英晶體射頻電源監視器，以及射頻電壓、溫度、壓力和兩軸壓力記錄器。此外，Exelan Flex FX包括兩個氣源，用於獨立的RF和DC偏置控制，允許過程調諧以獲得最大的蝕刻選擇性和提高產量。還安裝了自動機器人裝載機/卸載機，為每個裝卸批次提供快速周轉時間。該腔室的設計可容納廣泛的工藝配方和選項，包括各種材料的蝕刻，如矽、氧化矽、氮化矽和金屬。腔室的模塊化設計和集成工具使調諧能夠快速高效地實現每個應用程序的最佳工藝結果。而且，該機兼容多種批次類型，包括單晶片，最多可達800-150 mm的小晶片批次。Wamber for 2300 Exelan Flex FX是一款非常先進、可靠且用途廣泛的半導體制造蝕刻器/asher。它的高級功能為用戶提供了最大程度的控制和靈活性,以實現卓越的流程結果。
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