二手 LAM RESEARCH Chamber for Kiyo 45 #293609001 待售

LAM RESEARCH Chamber for Kiyo 45是一款為半導體晶圓加工而設計的蝕刻器/asher。它能夠一次安全地裝載多達200個晶片，並配備了獲得專利的氣體控制設備，以提高效率和準確性。該系統在所有處理模塊中提供統一一致的過程環境,從而使產品質量一致且可靠。腔室還提供快速周轉，晶圓處理時間低至4分鐘的一些晶圓。Kiyo 45的腔室設計有助於保護內部環境，減少汙染。包括一個獨立的空氣過濾單元，以確保空氣清潔，並將顆粒保持在最低限度。該室還具有多種安全元件，如氣體泄漏檢測機、火災探測工具和緊急關閉閥。Kiyo 45既有手動操作模式，也有自動操作模式。在手動模式下，用戶可以通過顯示屏上的用戶界面直接訪問腔室的功能，如溫度和壓力設置，以及過程參數。在自動模式下，機艙由機載自動化資產編程和監控，以提高過程控制和效率。Kiyo 45配備了幹晶體管等離子體發生器和先進的氣束輸送模型。這樣可以在低壓和低溫環境中進行精確、快速的蝕刻。氣束輸送設備精細控制和自動化氣體混合物和流速，提供更高的分辨率和重復性。Kiyo 45先進的溫度控制系統旨在確保濕法工藝的最佳性能，從而提高薄膜質量。該室還能夠存儲與每個晶片和工藝相關的所有數據，允許用戶跟蹤晶片歷史，並進行統計和診斷評估。Kiyo 45用途極為廣泛,能夠處理各種應用,如化學機械平面化（CMP）、化學氣相沈積（CVD）以及蝕刻和灰化。因此，它是半導體工業必不可少的設備。它可靠、高效,並提供卓越的質量和過程可重復性。