二手 LAM RESEARCH Chambers for 2300 Exelan Flex #9393585 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex Etcher/Asher的設計考慮了先進的蝕刻和灰化技術。這個來自LAM RESEARCH的創新室在濕、幹蝕刻和灰化過程中提供最大的工藝覆蓋範圍和靈活性。該腔室包括支持低溫蝕刻和去薄的三維等離子體、深層反應性離子蝕刻、等離子體灰化等先進技術。它還具有自動化的流程門,可確保快速、方便地訪問樣品,而無需手動調整。腔室也有75 torr的低壓和1至2 milliTorr的壓力範圍。該2300EXP配備了多種功能,旨在最大程度地提高工藝產量並減少停機時間。特性包括一個均勻性控制特性，確保跨大面積基板的均勻工序，以及一個工藝排氣系統，允許一旦晶圓灰化，腔室迅速排出至所需壓力。2300 Exelan Flex的功能還包括金屬密封軟管連接、惰性薄膜加熱器、多臂靜電夾緊以及低溫過程能力。它有一個自動伸縮臂支撐、惰性氣體面板、自動氣體閥和晶圓對準蛋糕。該室還包括自動化氣體、等離子體和晶圓處理系統，這些系統允許快速、高效的過程執行。內置的過程監視系統允許進行錯誤檢查,並可以檢測蝕刻和灰化率波動以及過程的不穩定性。還可以在完成前對樣品進行監測和檢查是否有任何不規則性或缺陷。整個腔室大小為26 "w x 32" d x 35 "h，腔室具有處理八個2"晶圓或四個4"晶圓的能力。它與許多不同的等離子體源兼容，包括感應耦合等離子體、射頻和偏置等離子體。腔室總氣體輸入為1.4升/分鐘。總體而言,來自LAM RESEARCH的2300 Exelan Flex是一款高級蝕刻器/asher,它將靈活性和多功能性與可靠一致的過程控制結合在一起。該單元可容納各種蝕刻和灰化配方,為濕法和幹法蝕刻和灰化的多步驟工藝提供了出色的均勻性和可靠性。