二手 LAM RESEARCH / DRYTEK 384T AMN #9386131 待售

LAM RESEARCHY/DRYTEK 384T AMN幹蝕刻器/asher是專門為需要同時精確蝕刻和灰化多層的應用而設計的工具。該設備能夠產生較高的蝕刻和灰化速率，具有較高的均勻性、可重復性和層可靠性。它以緊湊可靠的設計提供蝕刻和灰化功能。DRYTEK 384T AMN利用三級等離子體源設計進行蝕刻和灰化。這一設計由射頻發生器、高密度等離子體源和真空設備組成。發電機能夠提供高達8,000瓦的功率,從而實現高蝕刻和灰化速率。高密度等離子體源提供了一種均勻的、可重復的蝕刻，對蝕刻過程提供粒度控制。真空系統能夠承受低於1 mTorr的基本壓力,從而形成幹凈、幹燥的蝕刻/灰燼環境。LAM RESEARCH 384T AMN還采用了能夠對蝕刻工藝進行熱循環的室內設計。這樣可以提高蝕刻的性能和可靠性。此外，該腔室還采用了磁鐵正確的布置，以提高高密度等離子體的生成和優越的工藝均勻性。該室還配備了石英晶片船，這是快速熱循環必不可少的，以及能夠精確控制氣體流速的氣體分配歧管，用於精確、可重復的蝕刻和灰化。384T AMN設備配備了端點檢測機、診斷氣體噴射工具、互鎖資產和等離子源監控模型等多種工藝工具。這些工具有助於改進過程控制,並使蝕刻器/asher能夠提供統一且可重復的結果。最後，LAM RESEARCH/DRYTEK 384T AMN幹蝕刻器/灰化器是一種有效、可靠的同時蝕刻和灰化多層的工具。它采用了三級等離子體源設計、能夠進行熱循環的腔室設計，以及多種工藝工具來提供精確的蝕刻和灰化。所有這些功能使其成為各種應用程序的理想工具。