二手 LAM RESEARCH / DRYTEK 384T #85389 待售

LAM RESEARCH/DRYTEK 384T是為半導體加工而設計的高級蝕刻器/asher，產生高品質的蝕刻結果，具有極好的重復性。它具有自動化設備,可快速可靠地執行蝕刻、灰化和清潔等過程,同時還提供可靠的過程控制、安全性和可靠性。DRYTEK 384T不銹鋼室采用隔離閥密封，消除了汙染風險。該系統配備了提供精確流程控制的高級數字控制器，以及直觀的圖形流程配方編輯器和全數字化流程監控功能。自動化過程將確保您的主板級設備得到良好的處理,幹燥蝕刻速率高達176 μ m/min,疏水層厚度高達20 nm。該單元有一個消除有害物質和氣味的綜合排氣單元，使其成為工作場所更安全的選擇。此外,LAM RESEARCH 384T還配備了一個功能強大的軟件套件,用於編程和監控,提供有關流程參數的實時數據和室內維護的可見性,以及易於使用的圖形用戶界面。偏置、電弧點火和補償步驟都可以通過軟件中的精確控制來完成,從而可以創建自定義過程配方以滿足項目的精確要求。可以使用各種附件來進一步擴展設備的功能,例如熱板和特殊的氣體混合系統,以便根據您的確切應用對機器進行定制。384T是清潔高效生產半導體器件的理想蝕刻器/粉碎器。