二手 LAM RESEARCH / DRYTEK 384T #9036715 待售

LAM RESEARCH/DRYTEK 384T是一種為制造半導體器件層而設計的蝕刻/粉碎器設備。它是一個功能齊全的蝕刻器/asher平臺，具有用戶界面，可以方便地訪問系統的各種功能。這個單元可以在0度到45度的幾個不同角度進行蝕刻，以便在不同的工藝步驟之間提供最大的選擇性。此外,由於其先進的技術,包括高性能批量微波發生器、高分辨率端點檢測器和自動配方控制機,它能夠實現高達100 nm/min的工藝速率。通過使用工具配備的高分辨率端點檢測器，可以針對設備需求進一步優化蝕刻工藝。DRYTEK 384T旨在形成寬度在150-300 mm範圍內的有效通道。它還能夠達到高達50：1的長寬比，使亞微米特征和介電層的蝕刻具有出色的形狀和均勻性。此外，該資產包括三個處理室，每個室提供不同的能力。第一室涉及沈積控制，具有有效沈積光致抗蝕劑和目標材料的機制。第二室和第三室專門用於蝕刻和拋光晶圓。第三室用於蝕刻後清洗晶片。此外，LAM RESEARCH 384T配備了兩個先進的等離子體源，在蝕刻工藝方面提供了額外的多功能性水平。此外,該型號還提供各種功能,以確保操作過程中的安全。加工室配有冷卻劑設備，可使加工室保持穩定溫度。此外，多個閘門和屏蔽防止可能暴露在工藝室的揮發性氣體。此外，384T還包括幾個安全鎖和一個高速氣體幕，以保護操作員和其他人員免受危險氣體的傷害。總體而言，LAM RESEARCH/DRYTEK 384T是制造半導體器件的絕佳蝕刻/asher平臺。由於它的多功能性、效率和安全特性，它是研究人員和實驗人員的理想選擇。