二手 LAM RESEARCH / DRYTEK 384T #9384902 待售

LAM RESEARCHY/DRYTEK 384T Etcher/Asher是一款高性能、高產量的設備，用於半導體行業，用於金屬、矽等硬質材料的蝕刻和灰化。該系統設計用於生產最佳設備性能所必需的可靠、可重復的過程。DRYTEK 384T是一種單晶片蝕刻裝置，利用高通量熱蝕刻和等離子體蝕刻工藝的組合來達到所需的器件特性。這臺機器可以提供比其他系統快五倍的蝕刻和灰化速度,從而提高吞吐量並提高成本效率。該腔室為高效散熱而設計，采用隔熱、熱負荷管理和工藝密封技術相結合。該工具還提供了多種工藝定制選項，包括能夠蝕刻不同幾何形狀的各種材料，使其適合各種半導體應用。LAM RESEARCH 384T資產還配備了多項安全功能，如臭氧洗滌器、氧氣洗滌器和氮氣洗滌器，以及現場氣體監測器，以確保最佳安全和環境性能。該模型還提供了多種先進的控制功能,如先進的壓力控制設備、現場時間和溫度記錄、自動關閉系統、自動啟動功能、流量控制單元和基於配方的控制機器。這種高級功能的組合能夠增強過程控制和優化,使工具適合各種生產要求。此外,384T能效極高,能耗比其他同類系統少25%,大大降低了運營成本和環境影響。總體而言,LAM RESEARCH/DRYTEK 384T Etcher/Asher是生產半導體器件的可靠、高性能的解決方案,可提供更高的吞吐量、定制的過程控制和能效。