二手 LAM RESEARCH / DRYTEK DRIE-100 #293645358 待售

LAM RESEARCH/DRYTEK DRIE-100是一款為半導體行業設計的蝕刻器/asher，提供用於單晶片和批處理的高級蝕刻和灰化功能。該設備具有較大的陰極面積和高壓、高脈沖放電能力，為苛刻高溫和磨料提供卓越的蝕刻速率一致性、蝕刻深度控制和機械冷卻。系統強大的發電機和電源允許用戶調整蝕刻參數，以實現高精度和靈活性。DRYTEK DRIE-100采用先進的反應性離子蝕刻和灰化技術，使用戶能夠將材料蝕刻和灰化到極小的深度，對基板的損害最小。機載氣體輸送裝置也包括在內，提供可重復流動和基於配方的化學控制。附加功能包括先進的二維射流制圖技術、高精度的原位端點控制、全面的工藝監控、自動化的晶片基板級真空，以及對腔室真空的監控能力。LAM RESEARCH DRIE-100包括多項先進的安全功能，包括內置壓力調節、帶氣鎖的操作員檢修門、排氣過濾和精密的泄漏檢測。該機器還通過了UL、CE和SiaCG標準的健康和安全認證。總體而言,DRIE-100是一種高級且可靠的蝕刻器/asher工具,可提供卓越的性能和更高的流程靈活性。其多種安全特性使其適合於多種半導體工藝中使用。資產的可調蝕刻參數允許精確的控制，使其完美的專門蝕刻和灰度要求。