二手 LAM RESEARCH / DRYTEK PS-80 #188465 待售

LAM RESEARCHY/DRYTEK PS-80蝕刻器和asher設備是最通用、最先進的蝕刻和灰化應用工具之一。它旨在提供可靠、可重復的結果,並具有出色的一致性。該系統通過高溫、高功率和參數的精確控制提供精確的蝕刻和灰化。DRYTEK PS-80包括一臺用於精密蝕刻和灰化的高頻射頻發生器，以及一個裝有自動門和定制打滑的等離子體室。射頻發生器可以設置為可變功率級別,並且能夠達到高達600°C的溫度。壓力水平也可以手動調整,提供0-600 mTorr的可調範圍.PR單元允許用戶自定義蝕刻的工藝配方，並包含多種高級安全功能。該機設有帶渦輪分子泵和每秒100升離子泵的腔室真空工具。這提供了出色的抽水速度和空氣疏散室內，允許精密蝕刻和灰化。LAM RESEARCH PS-80還包括高壓沖擊發生器,它允許使用預設的工藝配方,而無需手動更改設置。此外,該資產還包括一個可選的負載鎖定室,允許在不使樣品托盤露天的情況下傳輸樣品托盤。為了隔離和疏散等離子體，PS-80包括兩級自動真空模型和氧化Agnostic™等離子體源。這確保了更精確的蝕刻和灰化過程,並提高了均勻性,並使更改配方和工藝參數變得更加容易和快捷。LAM RESEARCH/DRYTEK PS-80還包括一個化學輸送設備，為均勻和精確的蝕刻和灰化過程提供反應物的精確控制。DRYTEK PS-80蝕刻器和asher系統是需要精確蝕刻和研磨的應用的理想工具。它為用戶提供了對所使用參數的增強控制級別,並且能夠達到高達600°C的溫度。此外,該設備還包括多種高級安全功能,可提供準確的結果,並具有出色的均勻性。