二手 LAM RESEARCH / DRYTEK Quad #9038448 待售

LAM RESEARCHY/DRYTEK Quad是一款用於薄膜沈積和光刻加工的最先進的蝕刻器和asher設備。該系統由四個腔室組成，每個腔室具有獨立的等離子體源。密室串聯工作，允許同時蝕刻和/或粉刷多個薄膜。這種工藝是薄膜沈積的理想方法，能夠在光學顯微結構制造的基礎上實現光刻技術的未來發展。第一室主要用於氧基蝕刻。它由不銹鋼陰極和石英陽極組成。陰極由可調直流電壓供電，可從前面板進行管理，以控制過程。射頻發生器為石英陽極提供動力，其功能是產生富氧等離子體並確保均勻的蝕刻速率。第二室和第三室都用於灰化，但是第三室還具有可調陰極。第三室和第四室同樣具有碳源，使用質量流控制器將碳源註入密封的等離子體中。第四室是為蝕刻而設計的，在過程中另外提供石英罩。這使得整個單元在促進與其他腔室的連通性和兼容性的同時極其安全。該機還具有可編程邏輯控制器（PLC），用於調節每個腔室中使用的氣體的離子能量和流量。這使得對光電應用至關重要的蝕刻和灰化過程的精確控制成為可能。最後，該工具完全由計算機控制，允許基於配方的詳細自動化。這允許更高級別的可重復性,以及實時監控每個操作的能力。總之,DRYTEK Quad是一種用途廣泛、功能強大的蝕刻器和asher資產.其先進的特點使其成為薄膜沈積和光刻加工的理想工具。PLC的靈活性，加上可調陰極和石英罩提供的精確控制，使得該模型成為任何光電實驗室的寶貴資產。