二手 LAM RESEARCH EOS #293601477 待售
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LAM RESEARCH EOS是一款用於半導體加工的蝕刻器和asher。它具有強大的、完全集成的蝕刻室,可為關鍵過程（如通過蝕刻和前後彎曲）提供卓越的蝕刻速率和均勻性。設備可以同時蝕刻多層，能夠進行非常高精度的晶圓蝕刻。EOS系統可以用來蝕刻和粉刷範圍廣泛的材料，包括矽、的、SOI、高k、銅、鋁、鎢等。它利用可靠的單晶片加工室，能夠提供卓越的蝕刻速率均勻性，在整個晶片上均勻性為+/-1%。該裝置能夠蝕刻直徑達200毫米的晶片，每小時可處理多達200個晶片。為確保無縫、可重復的過程,LAM RESEARCH EOS提供了多種蝕刻和灰化模式,包括單晶圓、多層和多蝕刻序列。通過微步調整和飽和度控制功能,可以增強過程控制和精度。此外,EOS還配備了多種傳感器和探測器,包括用於檢測工藝氣體和密度的閉環反饋機制,以及用於監視基板溫度以確保理想工藝條件的熱傳感器。LAM RESEARCH EOS專為高生產力和高質量而設計,具有準確、可重復的流程能力。它得益於LAM RESEARCH專利的高密度等離子體（HDP）工藝技術。EOS具有堅固的工程設計、經濟高效的操作和卓越的蝕刻速率,非常適合任何高性能蝕刻和灰化機。
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