二手 LAM RESEARCH EOS #293638918 待售

LAM RESEARCH EOS是一款專門從事深反應性離子蝕刻（DRIE）和矽蝕刻的蝕刻器/asher。這種先進的設備采用最新技術進行設計，以確保其幹燥蝕刻工藝的精確度和可重復性。它通過模塊化設計提供了廣泛的蝕刻選項,允許對系統進行定制,以獲得最佳的流程性能和流程開發的可擴展性。EOS由一個可變頻率射頻源組成,可運行到13MHz個,具有可變流量能力的獨立輸送通道,以及一個用於可變偏壓和處理持續時間的多偏置控制器。它為包括MEMS、CMOS和絕緣體矽（SOI）在內的各種應用提供一致的高質量蝕刻結果。LAM RESEARCH EOS采用傳統的逆流反射蝕刻配置,采用先進的籠式設計,並采用平面後壁,可提供快速、有效的蝕刻。EOS還具有一個獲得專利的自對準安裝和基板調節器，以將基板定位在蝕刻室內的最佳平面中。這樣可以確保每個基板和層都得到統一的處理,並消除人工幹預。此外,系統還配備了內置射頻腔,可消除駐波問題並降低蝕刻過程中的可變性。LAM RESEARCH EOS的高級過程控制和監控功能為用戶提供了全面的過程控制和自動化，以確保可重復的結果。該控制器使用戶能夠分別對每個蝕刻室配方進行編程和監控,而自適應RF調諧功能提供統一的RF功率分配,以確保最佳蝕刻性能。常數和脈沖模式蝕刻可以編程，以及多個腔室操作。總體而言,EOS 蝕刻器/asher是一種高精度的數控蝕刻器,配備了先進的技術,可確保許多蝕刻應用程序的重復結果。利用變頻射頻源和多偏置控制器,LAM RESEARCH EOS可為用戶提供整個過程自動化,從而實現定制的過程開發。EOS具有自對準安裝座和基板調節器、受控射頻分布、執行多個腔室操作能力等先進特點，是高精度蝕刻工藝的理想解決方案。