二手 LAM RESEARCH EOS #293666965 待售

LAM RESEARCH EOS是一種廣泛應用的半導體加工蝕刻器/asher。采用這種先進的蝕刻技術，提高了蝕刻工藝的精確度，實現了小部件的精密蝕刻。它通常用於圖樣化晶圓蝕刻，允許高精度和光滑的蝕刻與短循環時間。EOS蝕刻器包括一個易於使用的設備，具有自動感應器監控和晶圓對準，以及一個單室蝕刻系統。主工藝室提供了一個高度均勻和高效的高密度等離子體蝕刻環境，在廣泛的溫度範圍內工作。LAM RESEARCH EOS單元通過提供過程優化工具實現非常精確的蝕刻控制。它提供了一種自動化調諧機，可以快速準確地調節蝕刻氣體的輸送、壓力、溫度、蝕刻速率等參數，以優化蝕刻質量。EOS具有內置的雙源能力，可以同時使用兩種不同的蝕刻化學方法，從而提高蝕刻工藝的生產率。此工具旨在最大程度地降低晶圓損壞或汙染的風險,並能夠高效、一致地管理復雜的蝕刻任務。此外，LAM RESEARCH EOS也能夠快速循環時間。它旨在最大限度地減少任何耗時的沖洗步驟,並且資產能夠在不到1分鐘的時間內完成一些濕蝕循環。EOS模型還能夠提供精確曝光時間的精細控制蝕刻。即使蝕刻功能非常小,這也能確保高質量的蝕刻。LAM RESEARCH EOS的高級功能使其非常適合廣泛的蝕刻操作。它能夠對大小特征進行高精度蝕刻,而又不犧牲精度。設備非常可靠，經過生產優化，是許多蝕刻應用的理想設備選擇。EOS旨在快速制作具有快速周期時間的高質量蝕刻版畫,使其成為一種經濟高效的解決方案,有助於節省時間和金錢。