二手 LAM RESEARCH EOS #293666968 待售

LAM RESEARCH EOS是一款蝕刻器/asher,設計用於提供高精度和低能耗,使其成為低容積和大容積工藝的理想選擇。這臺最先進的機器將高性能蝕刻和灰化技術結合到一個單一的緊湊平臺中,以支持各種過程,從基本蝕刻和灰化到高級復雜的3D模式。EOS利用原子層蝕刻（ALE）工藝幹蝕刻（PDE）和基於等離子體的反應性離子蝕刻（RIE）技術,實現高分辨率蝕刻,具有卓越的可重復性和卓越的精確度。Ale工藝用於蝕刻平板顯示器和半導體等低溫材料，而PDE技術則用於蝕刻和去除熱敏材料。RIE工藝用於創建半導體行業中的接觸孔等超精細特征。LAM RESEARCH EOS專為對金屬、矽、陶瓷、玻璃和聚合物等多種材料進行高效、精確的加工而設計。它的模塊化結構允許在樣品處理過程中在位置之間方便地轉移晶片和基板。此外，系統是完全可編程的，允許自動化的許多過程，以最大的生產力。EOS采用業界領先的技術,以最小的能耗確保一致的高質量蝕刻工藝結果。其行之有效的雙區加熱控制系統采用強制對流，用機電快門和絕緣壁均勻加熱蝕刻區，允許精確的溫度控制和均勻的加熱。此外,隨附的Resonant-DC電源可提供極精確的低電壓電源傳遞,甚至可以在最小電壓變化的情況下蝕刻細膩的特性。總體而言,LAM RESEARCH EOS為蝕刻和灰化提供了一個靈活、高效和經濟高效的解決方案,其精確度和精確度非常高。它是任何研究或商業蝕刻項目的理想選擇，以可承受的價格提供無與倫比的性能。