二手 LAM RESEARCH EOS #293666971 待售

LAM RESEARCH EOS是一種高級蝕刻/灰化解決方案,采用開放式平臺設計,使用戶能夠在精確控制蝕刻速率和深度的情況下創建高質量的微結構。它提供了廣泛的蝕刻配方供選擇，允許用戶在SiN、SiO2、Si3N4、多晶矽等各種基材中創建精確的微結構。該產品還提供一系列氣體輸送選項,最大壓力可達800 mtor,使用戶能夠生產高分辨率的抗蝕膜。EOS具有集成的溫度控制系統,可保持均勻的蝕刻和灰化過程以及一致的結果。其編程界面允許用戶設計多個蝕刻配方，以高精度和可重復性達到所需的效果。LAM RESEARCH EOS還有一個先進的安全系統，旨在保護人員免受腐蝕劑和煙霧的侵害。最後,該平臺可輕松與其他工具和系統集成,使用戶能夠以最小的工作量擴展其功能並實現更高的生產效率。