二手 LAM RESEARCH Exelan A6 #9090420 待售

LAM RESEARCH Exelan A6是為高批量生產高品質蝕刻微結構而設計的蝕刻/灰燼。對於制造商來說，它是一個經濟可靠的解決方案，因為它能夠容納標準的工藝模塊，可以很容易地重新配置用於深層反應離子蝕刻（DRIE）、博世工藝（Bosch Process）和濕法蝕刻等多種工藝。Exelan A6采用全金屬結構，可拆卸室被包裹在一個嚴格的安全外殼中，容納所有加工區域。此外,LAM RESEARCH Exelan A6還包括一個專有的軟件界面,用戶可以根據各種參數快速準確地配置設備。Exelan A6的主要特點是內置控制壓力、溫度和定時的安全機制。壓力、溫度和定時可以通過專用軟件進行調節，從而降低損壞部件的風險。此外，該系統還配備了三個冗余輸送系統、三個獨立激光器和三個獨立的壓力容器，從而能夠高效蝕刻具有不同類型蝕刻氣體的多層。LAM RESEARCH Exelan A6還提供自動化的單元開/關功能、減振和緊急停止按鈕。這樣可以確保用戶和工廠環境的最大安全。Exelan A6旨在減少與基材相關的潛在損害和汙染的機會。它能夠產生高度準確和可靠的結果，同時利用與底物兼容的化學品，從而確保最終產品的質量。此外，該機還包括用於連續、低功率顯微鏡檢查蝕刻顯微結構的自動化計量解決方案。這允許用戶監視蝕刻結構並檢測任何潛在缺陷和偏離所需結果的情況。此外,LAM RESEARCH Exelan A6還配備了所有必要的安全設備,可保護用戶免受火花和火災等潛在危害。總體而言,Exelan A6是一款先進、可靠且安全的蝕刻/分貝生產工具。內置的安全機制可降低與基板相關的汙染和損壞風險,而內置的硬件和軟件則可實現快速、準確和可靠的結果。此外,自動計量解決方案還提供對蝕刻微結構的連續評估,確保最終產品的所需質量。所有這些功能使LAM RESEARCH Exelan A6成為制造商的絕佳選擇。