二手 LAM RESEARCH Exelan #293614971 待售

LAM RESEARCH Exelan是一家先進的半導體晶圓加工蝕刻器和asher。它是一種具有最先進的控制器的單室粉碎機，在所有沈積應用中都具有極好的精度、可重復性和可靠性。Exelan能夠用多種化學物質和蝕刻化學物質同時蝕刻和粉刷多種底物。此外,LAM RESEARCH Exelan還設計了一個可使安全性、材料效率和成本節約最大化的工藝室。Exelan的設計旨在蝕刻和粉刷各種材料，包括金屬、復合半導體、聚合物和碳納米管。這使得它非常適合需要快速周轉時間的應用程序,因為即使樣本量有限,它也能獲得統一的結果。LAM RESEARCH Exelan的控制器旨在實現過程參數設置的靈活性，使其適合客戶研發應用。該機有一個自動洗室設備，利用刷洗有效的表面清潔和腔室維護。此外，還進行自動清除和排氣，以提高流程的可靠性和可重復性。它還具有氮氣大修系統，有助於最大限度地減少顆粒物汙染，這在表面汙染可能有害的應用中是有益的。為了保證安全的工作環境，埃克斯蘭擁有爆炸探測單位。這臺機器對於半導體晶片的生產特別有用，因為它可以通過在半導體晶片暴露於其中之前監測室內氣體來降低爆炸反應的風險。LAM RESEARCH Exelan有一個密封的工藝室，將粒子汙染的可能性降至最低，而該室的設計方式是為了減少工藝失敗的機會。總體而言，Exelan是一種高效可靠的蝕刻器和灰化器，可確保所有沈積過程的精確度和可重復性。先進的控制器、自動腔室清洗工具、氮氣檢修資產、爆炸探測模型確保設備保持安全的工作條件，而密封的工藝腔室則確保晶圓生產的最大安全性和可靠性。