二手 LAM RESEARCH Exelan #293615012 待售

LAM RESEARCH Exelan是一款經濟實惠、高性能的蝕刻器/asher,專為大批量IC生產而設計。它是一種先進的生產級制造設備,能夠提供精確和可重復的參數,同時執行極其苛刻的蝕刻和灰化過程。Exelan提供強大可靠的性能,非常適合用於大批量生產IC。LAM RESEARCH Exelan利用完全集成的等離子體蝕刻系統和集成的端點檢測技術。此集成自動化單元可提供精確的過程控制和高性能吞吐量。該機器具有多種蝕刻和灰化功能,可完成要求最苛刻的蝕刻任務,以及蝕刻最具挑戰性的化合物的能力。Exelan利用平行板高頻電源提供低壓等離子體充電，提供對等離子體蝕刻過程的精確控制。它還通過在廣泛的溫度範圍內提供均勻的蝕刻而不會損壞底層,從而提供高速率的材料去除。它還提供高分辨率成像功能。除了蝕刻和灰化功能外,LAM RESEARCH Exelan還提供多項輔助服務,旨在最大限度地提高生產效率和縮短周期時間。這包括自動室內清潔和維護，以及自動過程監測，以加強安全和質量控制。Exelan也被設計為簡化運算符交互。它包括一個直觀的用戶界面，具有彩色顯示和菜單，以確保高效和有效的操作。LAM RESEARCH Exelan還包括遠程訪問功能,使用戶能夠從遠程位置對蝕刻器進行編程和監視。Exelan是一款功能強大且用途廣泛的高批量IC生產工具。其先進的蝕刻和灰化功能、復雜的自動化和監控工具,以及直觀的用戶界面,使其成為要求苛刻的蝕刻過程的理想解決方案。其可靠的操作和一致的結果提供了提高生產力和提高產量。