二手 LAM RESEARCH Exelan #293615013 待售

LAM RESEARCH Exelan是一個蝕刻器/asher，旨在提供對蝕刻速率和均勻性的精確控制。蝕刻室的特性足夠大，可以容納高達8英寸晶圓的加工。Exelan能夠適應矽、石英等多種底物。LAM RESEARCH Exelan的桌面蝕刻設備具有簡單的過程控制界面,可實現自動化處理。它利用一個強大的過程控制算法來促進更快的斜坡速率和精確的蝕刻速率控制。它具有定制設計的硬件，支持廣泛的蝕刻工藝配方，允許對每個基材進行精確的蝕刻控制。埃克斯蘭的平臺級真空系統利用雙擴散泵的配置提供了高水平的真空。它有一個專用的微控制器和一個基於激光的反饋回路，用於控制腔室壓力以減少顆粒汙染。該蝕刻器旨在支持一系列生產工作流系統。它還配備了安全機制，限制蝕刻誘導的真空壓力波動，確保操作員和設備的安全。LAM RESEARCH Exelan單元配置為與選擇的化學品一起使用。它有兩個填充和空口，可以接收幹化學品，可以清除廢舊化學品。它還包括一個真空排氣口，以安全去除蝕刻過程中的氣態產物。Exelan是一款可靠可靠的蝕刻機,可提供高分辨率的蝕刻配置文件。它旨在提供跨平臺的兼容性,並允許用戶以最小的努力在不同的制造商之間進行切換。它采用了先進的間距捕獲蝕刻控制策略,可最大程度地減少蝕刻深度的不均勻性,並確保一致準確的蝕刻結果。LAM RESEARCH Exelan是一款具有時間和成本效益的蝕刻工具,可提供可重復的高質量結果。它非常適合各種蝕刻應用,如MEMS、高長寬比、嵌入式背面蝕刻等。它提供了靈活性和較低的擁有成本,使其成為工業和學術機構的理想選擇。