二手 LAM RESEARCH Exelan #9235217 待售

LAM RESEARCH Exelan是一種精密蝕刻/灰分設備,旨在滿足復雜的蝕刻要求,並具有高通量和高質量。它提供了三種不同的等離子體來源，以便在包括低k、超低k （ULK）氧化物和氮化物在內的各種基材上實現最佳蝕刻工藝性能。Exelan系統由一個載荷鎖定室、一個真空室和一個機器人基板傳輸單元組成，最多有三個等離子體源。LAM RESEARCH Exelan設計的最大吞吐量和靈活性，允許基材交換在每個腔室和短周期時間。它的三個等離子體源提供了經濟高效的柔性蝕刻解決方案，從受控塌陷低壓蝕刻（CCLP）到大氣壓化學氣相沈積（APCVD）和原子層沈積（ALD）。Exelan的CCLP蝕刻源利用先進的微波發生器和天線技術，確保了高性能蝕刻過程，並取得了可靠的結果。該機器的火炬等離子體和下遊等離子體源為LHDP和ALD氧化物等敏感材料提供了優越的選擇性和高蝕刻速率以及低離子能量。等離子體源的設計便於維護,而且在運行時間長、具有挑戰性的生產環境中具有卓越的可靠性。LAM RESEARCH Exelan工具采用功能強大的軟件平臺,提供高級過程控制功能,包括針對不同基材類型的優化配方。這些高級控制有助於在需要高質量結果的應用程序中實現高蝕刻精度、重復性和最大吞吐量。憑借強大的設計和直觀的軟件界面,Exelan實現了簡化的蝕刻過程。此外，LAM RESEARCH Exelan是一種經濟高效、適應性強的解決方案，有效地滿足了半導體行業的需求。憑借其創新的等離子體源、先進的工藝控制功能和精密的軟件，Exelan是一款可靠而強大的蝕刻/灰燼資產。