二手 LAM RESEARCH Exelan #9235218 待售

LAM RESEARCH Exelan是一款為半導體材料的蝕刻和粉刷而設計的蝕刻/粉刷設備。它具有多種特點，使蝕刻和灰化過程高效、精確。該系統由氣體面板、等離子體源、控制器和真空室組成。Exelan氣體面板設計用於精確控制用於蝕刻和灰化過程的反應性氣體的供應和組成。它配有各種連接器、閥門、管道和調節器，以便在蝕刻和灰化應用中利用多種氣體。LAM RESEARCH Exelan等離子體源的設計目的是使材料基質的溫度升高到幾千攝氏度。這種高溫環境允許反應性氣體分子通過熱蝕刻或離子輔助蝕刻從基質中去除目標材料。Exelan控制器提供對蝕刻和灰化過程的精確控制和監控。它配備了功能強大的可編程邏輯控制器或PLC，允許過程自動化，允許低人工成本和增加吞吐量。控制器還包括一個圖形用戶界面，以便於設置和控制蝕刻和灰化過程。將LAM RESEARCH Exelan蝕刻機/asher單元的真空室封閉，以產生真空環境，降低汙染風險，提高工藝產量。它還配有各種泵送和輔助系統，以確保過程中的最佳真空壓力和溫度控制。Exelan蝕刻機/asher機因其先進的特性、精湛的占空比能力、精密的蝕刻工藝以及極高的可靠性，是半導體材料蝕刻和灰化的理想工具。對於尋求經濟高效的方式來制造質量和可靠性最高的半導體產品的公司來說，這也是一個絕佳的選擇。