二手 LAM RESEARCH Exelan #9251056 待售
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LAM RESEARCH Exelan是一款旨在提供卓越性價比的蝕刻器/asher。此設備提供獨特的創新解決方案,使客戶能夠通過提供靈活性、控制和可靠性來適應不斷變化的市場需求。Exelan是一種先進的蝕刻系統，能夠蝕刻和灰化廣泛的材料，包括半導體、光掩模、電阻器、膠囊系統、封裝和晶圓。該單元是準確的，能夠在精密水平蝕刻。LAM RESEARCH Exelan具有許多使蝕刻和遮擋微風的功能。這臺機器采用強大的控制器,並提供集成的設計,允許用戶控制其設置和參數,並根據需要對蝕刻時間、溫度和其他設置進行控制。用戶界面直觀且用戶友好，它結合了監控功能，以確保所有進程都能準確、安全地執行。該工具提供自動化的高通量清洗和蝕刻以及自動晶片加載功能。它還與各種沈積源配合使用,並提供各種可編程設置（包括模式識別）,以幫助確保過程的可重復性。Exelan還具有一系列先進的安全特性，如惰性大氣和排氣資產，以確保車型安全運行。LAM RESEARCH Exelan也是一款節能設備。它能夠以最低的氣體消耗進行幹蝕刻，其部件具有可靠的功率，可以延長壽命並降低維護成本。該系統還具有直觀的軟件界面，允許對蝕刻工藝流程路徑進行更大的控制，並提供晶圓的詳細可追蹤性。Exelan目前和未來的應用包括細線圖案和屏障蝕刻、溝槽和開口，以及晶圓級包裝應用和MEMS制造。它結合了先進的功能、可靠的功耗和用戶友好性,使此設備成為尋求高效、可靠和經濟高效的蝕刻和灰化的企業的理想選擇。
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