二手 LAM RESEARCH Extrima 300NX #9246538 待售

LAM RESEARCH Extrima 300NX是一種先進的等離子體蝕刻器/asher,非常適合在工業和研究環境中執行一系列任務。它具有6 × 10-7 torr範圍的底壓和高達0.1 torr的可調前向壓力，允許對蝕刻過程進行極其精確的控制。集成軟件界面允許實時參數配方和即時調整蝕刻屬性。擁有專利專有設計、Triode射頻源以及0到200瓦的功率範圍，該設備能夠以低成本、易於操作的方式提供高質量的結果。它有一個高容量的4英寸石英管，寬40毫米的波紋管設計用來消除汙染物，並且能夠在批量或單片模式下蝕刻。該300NX具有快速的工藝循環時間，帶有可編程轉盤，允許針對特定需求優化蝕刻工藝。基板支架允許對基板進行精確的定位和處理，這對於不同的蝕刻工藝來說很容易改變。該系統配備了一系列為無憂操作而設計的安全功能。它可以安裝在左右裝載機上，以便於裝載和卸載基板，並且設計用於將加工氣體保持在單元內，以便安全和清潔的環境。蝕刻器還包括氣體流動監控器和警報，以及惰性氣體凈化機和過濾器，有助於保護周圍環境免受任何有毒或危險顆粒的傷害。Extrima 300NX具有這些高級功能,旨在滿足各種材料蝕刻操作的最苛刻需求。