二手 LAM RESEARCH Extrima 3100 #293820193 待售

LAM RESEARCH Extrima 3100是一款高性能、先進的蝕刻器/asher，是業界市場上最可靠、效率最高的等離子體蝕刻系統之一。通過高壓技術和精確控制，Extrima 3100提供了優越的蝕刻質量、改進的均勻性和更高的晶圓產量。蝕刻器/asher包含一系列功能,可確保在關鍵應用程序中進行可靠且可重復的操作。該腔室設計用於短周期時間，與傳統方法相比，晶圓吞吐量提高了40%。不銹鋼室壁塗有多種材料組合，以確保蝕刻工藝的均勻性和準確性。LAM RESEARCH Extrima 3100的硬件由6個電子回旋共振（ECR）源組成,能夠準確高效地傳遞射頻功率。它還擁有先進的基板氣體噴射設備（ASGIS）提供精確的蝕刻和清潔氣體的混合物。該系統的核心是自動靜電卡盤裝置，它可以牢固地握住晶片，達到最佳清潔效果。Extrima 3100的軟件組件便於精確的過程控制,包括氣體混合器、過程監控和反饋控制。這些特性使操作員能夠調整等離子體配方的參數，如壓力、氣體混合物、補給氣體、廢氣和溫度。該機器還對腔室進行環境監測，以確保過程的準確性，並檢測未建立的變量。LAM RESEARCH Extrima 3100設計用於處理50 mm至300 mm的晶片,非常適合任何關鍵的半導體蝕刻或蝕刻/清潔工藝。其先進的建造質量使其得以在平板顯示器、MEMS、MEMS封裝、LED、存儲裝置制造等半導體晶圓制造技術等多個行業中得到應用。該工具兼容且易於與眾多內部工具集成,從而為自動化生產線提供最大的靈活性。